AFM探针，原子力显微镜探针

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探针的工作模式：主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式

探针的结构：悬臂梁+针尖

探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm。

制作工艺：半导体工艺制作

 

常见的探针类型：

1. 导电探针（电学）：金刚石镀层针尖，性能比较稳定

2 .压痕探针：金刚石探针针尖（分为套装和非套装的）

3. 氮化硅探针：接触式（分为普通的和锐化的）

4. 磁性探针：应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备

5. 电化学探针（STM）: 电学接触式和电学轻敲式

6. FIB大长径比探针：测半导体结构，专为测量深的沟槽（深孔）以及近似铅垂的侧面而设计生产的。

 

Popular Probes & Applications

Application: High resolution topographical imaging of a wide variety of samples.

Probe Model: TESP, RTESP, OTESPA , NCHV, VL300

Specifications: 40 N/m, 300 kHz

AFM Mode: Tapping

 

Application: High resolution imaging for softer samples (Polymers, biological, and thin films)

Probe Model: FESP, RFESP, OLTESPA, FMV, VLFM

Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz

AFM Mode: Tapping or Force Modulation

 

Application: Magnetic and electrical measurements.

Probe Model: MESP, SCM-PIT, OSCM-PT, SCM-PIC

Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz

AFM Mode: MFM, EFM, SCM, Conductive AFM / TUNA

 

Application: Liquid Imaging, Force Measurement and pulling, Contact mode imaging in air

Probe Model: MSCT, NP-S, OTR4, OBL

Specifications: .006-.58 N/m

AFM Mode: Contact or Tapping

 

 

模式 常用探针型号

接触模式

– ESP

– MPP-31100-10

– SNL-10

– DNP-10

– MLCT

– MSNL-10

 

轻敲模式

空气 液体

– MPP-11100-10 (RTESP)

– TESP

– OTESPA

– FESP – SNL-10

– DNP-10

– MLCT

– MSNL-10

 

峰值力轻敲模式

– ScanAsyst-Air

– ScanAsyst-Fluid

– ScanAsyst-Fluid+

 

智能成像模式

– ScanAsyst-Air

– ScanAsyst-Fluid

– ScanAsyst-Fluid+

– ScanAsyst-Air-HR

 

轻敲模式& 相位成像模式

– MPP-11100-10 (RTESP)

– TESP

– OTESPA

– FESP

 

定量纳米力学性能测试模式

– MPP-11120-10 (RTESPA)

– MPP-12120-10

– MPP-13120-10

– PDNISP-HS

– ScanAsyst-Air

 

磁力显微镜模式

– MESP

– MESP-HM

– MESP-LM

– MESP-RC

 

静电力显微镜模式

– SCM-PIT

– MESP

– MESP-RC

– OSCM-PT

 

峰值力隧道电流显微镜&导电原子力显微镜模式

– SCM-PIC

– SCM-PIT

– DDESP-FM

– PFTUNA

 

更多探针信息，请咨询铂悦仪器，谢谢！