FP-260日本理研RIKEN移动式特殊检测仪FP260
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●工业半导体净化室的理想检测仪器
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●更适于低浓度检测（PPM级）
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●抗干扰性强
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●盒式带取放简便
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●盒带剩余量显示
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规格：
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类 型
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台式，可搬运型
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检测原理
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光电光度学原理用于盒式纸带
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检测盒带
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VHS型可更换盒式带电
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和耗电量
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AC220V 50/60Hz
检测时：35VA 供带时：60VA
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275(W)×220(H)×370(D)mm 约12Kg
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检测名称
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检测
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TLV值
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检测
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解析值
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磷 PH4
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300ppb
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0--900ppb
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5
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四氢化硅 SiH4
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5ppm
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0--15ppm
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0.25
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乙硼烷 B2H6
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100ppb
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0--300ppb
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5
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胂 AsH3
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50ppb
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0--150ppb
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1
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乙硅烷 SiH6
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5ppm
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0--10ppm
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0.1
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硫化氢 HS2
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10ppm
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0--100ppm
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1
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光气 COCl2
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100ppb
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0--300ppb
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2
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氯气 Cl2
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0.5ppm
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0--100ppb
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1
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硒化氢 H2Se
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50ppb
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0--300ppb
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2
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