洁净技术是一门综合技术,其核心技术包括生产工艺技术及其工艺设计、空气净化、洁净建筑以及各类产品生产所需的专业技术(如微电子产品生产所需的高纯物质——— 高纯水、高纯气、高纯化学品的相关专业技术等)。这些专业技术在
风淋室设计中都是不可缺少的,它们必须密切配合,围绕着产品生产的需要,相互协调、统筹安排。
洁净厂房的设计和建造就是要在做好各相关专业设计的基础上,做好各项安全设施——— 消防、防火、防爆、安全报警,确保风淋室的安全运行。与此同时,它还要处理好电源、冷源、热源等动力供应,节约能源;安排好各类配管配线,确保各种流体介质的输送质量,减少材料消耗,方便施工安装和运行维护。
洁净生产环境(洁净厂房、风淋室)先后使用过“无尘车间www.qdjinghua.net”、“无窗厂房”、“密闭厂房”、“空气悬浮粒子受控的房间”等概念。洁净厂房的设计建造和使用应做到不引入或少引入微粒,不产生或少产生微粒,不滞留或少滞留微粒。此外,洁净厂房还对温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制。
国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)共分15章和4个附录。主要内容有:总则、术语、电子产品生产环境设计要求、总体设计、工艺设计、风淋室建筑设计、空气净化和空调通风设计、给水排水设计、纯水供应、气体供应、化学品供应、电气设计、防静电与接地设计、噪声控制以及微振控制等。
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