等离子清洗机

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本公司开发生产的等离子清洗机按频率分40KHZ/13.56KHZ按尺寸分25升、60升、80升、100升、120升等，按款式有台式和立式

本系列产品特点：

高精度、快响应、良好的操控性和兼容性、完善的功能和专业技术支持

本系列产品用途：

适应于医疗器皿、生物材料、印刷结路板行业、半导体、IC、LED、LCD、芯片领域、硅胶、塑胶、聚合体领域、汽车电子航空领域

印刷电路板行业：表面活化、表面清洁、去污、软板、软硬结合表面清洗

小型等离子清洗机:
主要应用于实验、科研 、医学及小规模的生产领域。
特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
控制 方式：手动或者自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙 组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。

中型等离子清洗机：

      主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。

      特点：所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。

      真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。

      控制方式：自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间记录，适合维护，可以提供工艺参考。

      标准型号：QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-100-PSP、QT-120-PSP、QT-25-PSP。

      ◎可存储50组工艺配方，随意调用。

      ◎清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。

      ◎工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。

      ◎一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洁结束提示等。

      ◎自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。

      ◎气体质量流量计采用美国进口，由模拟输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC可对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。

      ◎根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等。电极结构（专利）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体地均匀性及稳定性。