| 服务项目 | 浏览量20 | 发布时间2015-03-07 |
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SC100标准型匀胶机 旋涂仪 甩胶机 旋转涂膜仪 匀胶台的详细描述：
SmartCoater®精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的晶圆底物旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性
特性优点：
- 最新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
- 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
- Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
- 标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。
- 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
- 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
- 排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。
- 透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
主要性能指标：
- 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
- 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
- 转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)
- 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）
- 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
- 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
- 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
- 支持wafer尺寸1cm-200mm
- 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
- 设备尺寸 32cm W × 44cm D × 30cm H
400-6352-900