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RTP快速退火炉

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本页信息为郑州成越科学仪器有限公司为您提供的“RTP快速退火炉”产品信息,如您想了解更多关于“RTP快速退火炉”价格、型号、厂家,请联系厂家,或给厂家留言。
基本参数
服务项目 浏览量3 发布时间2014-05-13
品牌成越科仪 所在地湖北 起订≥1 台
供货总量未填 发货0天内发货 有效期至2025-03-09
展开
详细说明
RTP快速退火炉的主要技术参数如下 
加热元件:卤素电极;
电极数量:12支;
整机功率:7.2KW;
升温速率:200℃/Second;
降温速率:30秒(1000℃ → 400℃);
最高温度:1100℃;
温度精度:+/- 1℃;
最大样品尺寸:4英寸;
气氛环境:真空、气体(氮气、氩气、氧气)、空气;
真空系统:可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
应用领域:
-快速热退火 
 - 快速热氧化 
- 快速热氮化
 - 硅化 
- 扩散 
- 化合物半导体退火 
- 离子注入后退火
- 电极合金化
- 晶向化和坚化 
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积;  等等…

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