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机,表扣
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溅射
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溅射技术已渐成为溅射
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的主流技术，它优于直流
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的特点是1.克服了阳极消失现象，2.减
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东莞市汇成真空科技有限公司
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主要是（集）直流
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溅射和电弧离子蒸发三种技术融合一体，结合线性离化源及脉冲偏压
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东莞市汇成真空科技有限公司
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2011-01-10 14:23
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2011-07-27 10:56
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机室立式双开门（或单开门）蒸发和
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佛山市南海区罗村艾特迈真空机械厂
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+多弧离子
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该机型在多弧离子
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机的基础上配置圆柱靶或平面
磁控
靶，
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具备离子镀的高离化率、高沉积速度的特点，同时也具备
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佛山市南海区罗村艾特迈真空机械厂
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溅射技术和
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蒸发技术结合在同一
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里，既利用
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溅射阴极辉光放电将靶材
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东莞市汇成真空科技有限公司
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