洁净室

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层流式（Laminar) 　　武清正压洁净室 武清负压洁净室 武清防静电洁净室层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class~。其型式可分为二种：　　⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下侧污染较严重。　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。　　⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。复合式（MixedType) 　　武清正压洁净室 武清负压洁净室 武清防静电洁净室复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。　　⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域%覆盖使洁净度等级提高至级以上，可节省安装运转费用。　　此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。　　武清正压洁净室 武清负压洁净室 武清防静电洁净室洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。　　⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。　　⑶并装局部洁净室（Clean Spot）：将洁净室等级,~,之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为~级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。　　洁净工作台：等级Class ~级。　　洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为~级，高度在.米左右，覆盖面积约m以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。